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真空镀膜机械 多功能表面处理设备真空离子蒸发镀膜机/磁控溅射镀膜机
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- 真空镀膜机械多功能表面处理设备真空离子蒸发镀膜机/磁控溅射镀膜机 真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。
主要思路是分成蒸发和溅射两种。
使用控柜操作 1. 开水泵、气源。
2. 开总电源。
3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。
约需5分钟。
4. 开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和 高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。
真空到达2×10-3以后才能开电子*电源。
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